Kev txiav cov kab ntawm qhov kev sib tw high-speed reciprocating xa cov tshuaj khib mus rau thaj chaw txiav, kom qhov sib tsoo sib xyaw hauv cov xov qhwv (SiC hais) thiab nplaim ntawm qhov sib xyaw silicon yog qhov siab sib tsoo, vim hais tias qhov sib tsoo sib xyaw muaj ntau heev lub kaum ntse ntse, thiab qhov nyuaj yog ntau dua li qhov nyuaj ntawm lub pob zeb ntuag silicon, yog li thaj tsam ntawm kev sib txuas ntawm cov pas nrig silicon thiab cov hlau hlau tau pom maj mam av los ntawm cov tshuaj khib, thiab yog li ua tiav cov nyhuv ntawm txiav, tib lub sijhawm, Lub tshuaj khib tseem tuaj yeem nqa tawm ib qho loj npaum li cas ntawm cov cua sov ua kom sib tsoo.
Hauv cov txheej txheem kev nkag siab txog kev txiav cov tshuab ntawm pob zeb diamond hlau pom, ntau tus kws tshawb fawb ntseeg tias micro-txiav suab ntawm pob zeb diamond sib tsoo nplej yog txheej txheem dov thiab teeb tsa, thiab "dov-embedding" qauv yog npaj siab. Li li al. npaj siab tias cov quab yuam thov los ntawm qhov pom cov hlau hlau mus rau kev sib tsoo cov pob zeb tsav lub sib tsoo cov pob nplej kom yob raws qhov txiav txiav, thaum zom cov pob zeb sib xyaw ua ke rau hauv cov txiav saum npoo, yog li tsim cov tawv nti nti nti nti thiab cov nplaim tawg, tsim ib qho kev txiav macro. Kev ntxhov siab faib tawm thiab kev ua haujlwm ntawm kev sib tsoo cov nplej uas ntim rau hauv cov haujlwm no tau kawm, thiab qhov siab tshaj plaws ntawm kev sib tsoo ntawm cov hniav sib tsoo rau cov khoom yog pom tias muaj tshwm sim hauv qab qhov micro-txiav saum npoo, thiab xaiv cov abrasives tau zoo raws li.
